| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 價格區間 | 2千-5千 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科集成的皮拉尼真空計
日本ULVAC愛發科集成的皮拉尼真空計
特征
節省成本和空間的傳感器類型
易于更換傳感器頭
具有優異耐腐蝕性的鉑絲
您一直在使用的傳感器頭（WP-01、02、03、16）可以按原樣使用。
設定點輸出 2 點
測量值輸出 DC 0 至 5V（非線性）
電源電壓 DC24V
真空設備（如半導體、光學和電子零件制造）的低真空范圍內的過程控制。
真空爐等工業設備的低真空范圍內的過程控制
低壓范圍內的工藝控制，適用于具有多個工藝腔室的真空系統，例如在線濺射和單晶片加工設備。
| 類型 | 傳感器單元 |
| 型 | 第 1 頁 |
| 兼容的傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準確性 | ±15 %（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30 %（10 帕 ~1000 帕） | |
| ±50 %（0.4 帕 ~3000 帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10 ~ 40°C |
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0 至 5VDC（最大 10V） |
| 設定點 1/2 壓力設定調整監視器 | 非線性輸出：0 至 5VDC（最大 10V） |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出，負邏輯 |
| ERROR 信號 | |
| 設定點 1/2 | |
| LED顯示屏 | 電源、錯誤、設定點 1、設定點 2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V， 90mA（最大） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6 螺絲） |
| 重量 | 190 克/0.41 磅（不包括傳感器頭） |
標準配件 | 輸入/輸出連接器 1 個 |
| 快速手冊 1 個 |
IO 和模擬 GND 未與電源 GND 隔離。
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